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      微流控芯片生產(chǎn)工藝的六種設(shè)備

      發(fā)布人:萊塞激光 發(fā)布時間:2021-04-13 14:01:09

      【摘要】

      微流控芯片屬于微型分析實驗裝置,所以在生產(chǎn)加工時也需要一些微電子及微機械制作技術(shù)的加持,對精度的要求會非常高,目前在加工微流控芯片時大致會用到六種設(shè)備:勻膠設(shè)備、

      微流控芯片屬于微型分析實驗裝置,所以在生產(chǎn)加工時也需要一些微電子及微機械制作技術(shù)的加持,對精度的要求會非常高,目前在加工微流控芯片時大致會用到六種設(shè)備:勻膠設(shè)備、烘膠設(shè)備、光刻機、注塑設(shè)備、數(shù)控CNC設(shè)備和微流控激光焊接設(shè)備。

      微流控芯片生產(chǎn)工藝的六種設(shè)備(圖1)


      前兩種的勻膠設(shè)備和烘膠設(shè)備是用于光刻工藝的勻膠(制版的表面圖覆)、前烘(中烘、后烘)和堅膜;
      而光刻機又名掩膜對準曝光機,工藝過程拿硅片材質(zhì)的微流控芯片來講,概括來說是在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程,或者說是將微通道結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上的過程。

      注塑設(shè)備或者說注塑成型機就很好理解了,工藝過程概括來說是利用硅片或者玻璃、金屬、塑料等材質(zhì)的模具進行芯片注塑成型的加工過程。

      用于微流控芯片的數(shù)控CNC設(shè)備對精度要求特別高,所以為了達成需求需要配合精度檢測設(shè)備來控制產(chǎn)品尺寸的精準和表面的粗糙度。

      最后介紹的是激光焊接設(shè)備,也可以說是塑料激光焊接設(shè)備,工作原理十分簡單:在上料治具內(nèi)的模具中放置塑料件、薄膜和硅膠,之后加厚光學(xué)玻璃會自動壓緊產(chǎn)品,激光束會精確穩(wěn)固地焊接微流控部件,焊接完成后通道幾何形狀會保持原樣,不會讓熔化物流入狹窄的通道。

      說到塑料激光焊接就要提一嘴了,一般來說塑料激光焊接的相容性、融合溫度和匹配性越接近,最終焊接完成的效果就越好,所以如果一般需要針對材質(zhì)進行打樣才能選配出最適合的設(shè)備。

       


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